機械や装置の安全設計を実証する試験

1. 電気安全実証試験　-　貴社工場にて、IEC規格・UL規格・SEMI S22 による試験を行います。
2. 作業環境・非可燃性雰囲気安全実証試験・トレーサーガス (SEMI S6) 試験　-　装置稼動時および単一故障時の装置からの薬液・化学物質の漏洩被曝量を測定し、安全設計を実証いたします。
3. 各種放射安全実証試験　-　電磁界、紫外線・赤外線、レーザー、イオン化放射の漏洩被曝量を測定し、安全設計を実証いたします。
4. SEMI F47 によるVoltage Sag Immunity試験

開発・設計段階から、改造対策案を定め、オンサイトにて評価装置の安全実証試験、環境評価試験を行っております。

統合最適設計フローチャート