SEMI S2・SEMI S26適合評価

SEMI International 半導体業界規格に基づく SEMI S2/ SEMI S8/ SEMI S14/ SEMI S17/ SEMI S22/ SEMI S26 安全ガイドラインに基づく 第三者評価機関業務

半導体製造装置の環境・健康・安全(EHS)に関して、業界ガイドライン SEMI S2・S8・S14・S17・S22・S26 などがあります。半導体製造装置は、客先要求により、EHSに関して業界ガイドラインを満たす必要があります。同時に半導体製造装置はその据付先の国の安全要求事項を満たしていることは言うまでもありません。
当社では、SEMI S2の評価のみではなく、グローバル製品認証を目標に統合最適設計を提案させて頂きます。

SEMI安全ガイドラインとは 統合最適設計フローチャート

安全実証試験: 機械や装置の安全設計を実証する試験

  1. 電気安全実証試験 - 貴社工場にて、IEC規格・UL規格・SEMI S22 による試験を行います。
  2. 作業環境・非可燃性雰囲気安全実証試験・トレーサーガス試験 - 装置稼動時および単一故障時の装置からの薬液・化学物質の漏洩被曝量を測定し、安全設計を実証いたします。
  3. 各種放射安全実証試験 - 電磁界、紫外線・赤外線、レーザー、イオン化放射の漏洩被曝量を測定し、安全設計を実証いたします。
  4. SEMI F47 によるVoltage Sag Immunity試験

適合評価報告書

reportリスク査定による適合報告書、SEMI S2適合評価報告書、SEMI S8人間工学設計適合評価報告書、SEMI S14火災安全リスク査定報告書、SEMI S26 適合評価報告書、SEMI S22 電気設計評価報告書 及び 安全実証のための各種試験報告書などを提出いたします。

適合証明書の発行

certificate安全設計要求事項に適合した装置には、適合証明書を発行することができます。

 

 

 

 

 

SEMI S2 適合ラベル

SEMI S2 Label安全設計要求事項に適合した装置には、適合レベルを発行することができます。

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