半導体・FPD製造装置 SEMI 安全ガイドラインとは

SEMIスタンダードとは、デバイスメーカー、装置製造、材料製造、半導体・FPD工場設備、第三者機関、大学、研究所などのメンバーによって、作成され、承認された業界ガイドラインであります。
その中で、SEMI S2・SEMI S26を代表とするSEMI Sシリーズは、半導体・FPD (Flat Panel Display)製造業界の製造装置システムに対する環境,健康,安全(environmental health and safety: EHS)に関わりのある安全ガイドラインであります。
SEMI S2・SEMI S26 安全ガイドラインへの適合は、北米、EU、韓国、中国、台湾のほぼ全て大手半導体製造会社 およびFPD製造会社において, 装置購入仕様書の中で、装置安全に関する必須条件となっております。

装置安全設計の基本となるガイドライン

SEMI S2-1016
半導体製造装置の環境,健康,安全に関するガイドライン

ガイドラインの目的

本安全ガイドラインは,半導体製品の製造,測定,組立て,およびテストに使用される装置に適用されます。半導体製造装置において、実現すべき環境,健康,安全(environmental health and safety: EHS)上の考慮するべき基準が記述されております。

SEMI S26-0516
FPD製造システムの環境,健康および安全に関するガイドライン

ガイドラインの目的

本安全ガイドラインは, FPD製品の製造,測定,組立て,およびテストに使用されるFPD製造システム及び そのサブシステムにおいて、実現すべき,環境,健康,安全(EHS)上の考慮するべき基準が記述されております。なお、FPDMSのサブシステムのうちSEMI S2に適合しているものは,継続してSEMI S2の規定に適合させてもよい事になっております。

SEMI S8-1116
半導体製造装置の人間工学エンジニアリングに対する安全ガイドライン

ガイドラインの目的

本ガイドラインは,半導体製造装置ユーザと その装置間の融和性を向上させるため、装置の人間工学的設計原則及び考慮すべき事項が記述されています。また具体的に、人間工学設計および装置評価をするため、サプライヤ人間工学適合条件(SESC)を規定しております。

SEMI S14-1016
半導体製造装置に対する火災リスクアセスメントと軽減のための安全ガイドライン

ガイドラインの目的

本ガイドラインは,半導体製造装置および製品に対する火災および燃焼副生成物に対して、火災リスクをアセスメントするために考慮すべき事項,リスクを分類する方法およびリスクを軽減する方法について 記述されています。

SEMI S17-0113
無人搬送台車(UTV)システムの安全ガイドライン

ガイドラインの目的

本ガイドラインは,半導体製造工場およびFPD製造工場で使用される材料(ウェハFOUP、ガラス基板カセット等)の移動を自動化するために使用される,無人搬送台車(UTV)システムの実現すべき,環境,健康,安全(EHS)上の考慮するべき基準が記述されております。UTVには床上走行台車(FTV)と空間走行台車(OTV)が含まれます。

SEMI S22-0715
半導体製造装置の電気設計のための安全に関するガイドライン

ガイドラインの目的

本ガイドラインは,半導体製造装置の設計における電気的安全に関する考慮事項について記述されています。また、電気安全試験についても、記述されています。

SEMI S2/ SEMI S26 適合設計へフローチャート SEMI S2/ SEMI S26 適合評価

装置安全設計を支援するためのガイドライン

SEMI S1-1015
装置安全ラベルの安全ガイドライン

ガイドラインの目的

本ガイドラインは,装置に関連する危険を人に警告する安全ラベルの内容およびフォーマットを提供し、装置用安全ラベルの作成を支援しています。

SEMI S10-0815
リスクアセスメントおよびリスク評価のための安全ガイドライン

ガイドラインの目的

本ガイドラインは,危険源の同定,リスクの見積り,リスク評価を実行するためのリスクアセスメントの一般原則を記述されています。本安全ガイドラインにおいて,リスクレベルを決定し,そのリスクに対する制御方策の開発を支援しています。

SEMI S3-1211
プロセス用液体の加熱システムに関する安全ガイドライン

ガイドラインの目的

本ガイドラインは,半導体およびフラットパネルディスプレイの製造で用いられるプロセス用液体の温度を変更または維持するために用いられる加熱システム設計に対する 最低限の一般的な安全上の考慮事項が記述されています。

SEMI S6-0707
半導体製造装置の排気換気に関する環境,健康,安全のためのガイドライン

ガイドラインの目的

本ガイドラインは,半導体製造装置の排気・換気に対する安全設計原則・基準、及び安全設計基準への適合性評価を行なうためのテスト方法・基準について、記述されています。従いまして、SEMI F15 トレーサーガスの内容も含まれております。

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