GEM300・EDA適合性検証

半導体工場における装置のGEM・EDAの適合性検証サービス

現在 ISMIでは、半導体チップの生産性向上のため、数々の取り組みがなされております。半導体製造装置自身のスループットの向上は周知の事実ですが、最も効果的な方法として、半導体工場における最新のファクトリーオートメーション化(装置稼働率向上など)が検討されております。
最新のファクトリーオートメーション化に当たり、下記事項が要求されます。

  1. 半導体製造装置は、工場(FAB)側のホストコンピューターへ 「標準化されたインターフェース: SECS-Ⅱ」によって 完全な通信できる事
  2. EDA(Equipment Data Acquisition) ホストからの通信に対して、半導体製造装置内の適正なGEM (Generic Model for communication & Control of SEMI tool)シナリオにて半導体製造装置が動作し、適正にホストへデータを通信する事

上記の要求事項が満たされない場合、個々の半導体製造装置とFABとの円滑な統合が出来ず 製造スケジュール・生産性向上 へ大きな影響を生じると考えられます。
当社では、最新のファクトリーオートメーション化に対する支援業務として、 ISMI検証済みの次世代適合性確認テスターにて、出荷前の半導体製造装置に対して、事前にGEM・EDAの適合性の検証サービスをさせていただきます。

次世代適合性確認テスターの利点について

  1. 次世代適合性確認テスターは、GEMとEDAとを統合して試験いたしますので、従来のテスターでの GEMとEDA間における競合などがありません。
  2. 次世代適合性確認テスターは、ISMI検証済みであり、FAB側のGEM・EDAの適合性検証にも 使用されておりますので、据付後のFABと半導体製造装置との最終検証作業もスムースに進めることが出来ます。
  3. トレーサビリティのある試験結果が得られますので、不具合箇所を推定することができます。また、同時に複数項目をテストすることも可能です。

当社のGEM・EDAの適合性検証サービスをご検討頂きますようお願いいたします。

該当する業界ガイドライン:ISMI & SEMI Standards

GEM300: SEMI E30, SEMI E40, SEMI E87, SEMI E90, SEMI E94
EDA: SEMI E120, SEMI E125, SEMI E132, SEMI E134
AMHS: SEMI E84

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